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沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。2019年，公司先后獲得“2018年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)十強(qiáng)單位”、“2018年中國半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”、“全國第一批專精特新‘小巨人’”等多項殊榮。
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